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氬離子拋光技術(shù)簡介:
氬離子拋光技術(shù),又稱離子研磨CP截面拋光技術(shù),是利用氬離子束對樣品表面或者截面進(jìn)行轟擊,以獲得表面光滑的拋光截面和平面樣品,而不會對樣品造成機(jī)械損害。去除損傷層,從而得到高質(zhì)量樣品,用于在SEM,光鏡或者掃描探針顯微鏡上進(jìn)行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC 或其它分析。在材料科學(xué)、生命科學(xué)、地質(zhì)科學(xué)、電子、工業(yè)制造等熱點(diǎn)領(lǐng)域可發(fā)揮重要作用。
氬離子拋光技術(shù)特點(diǎn):
1、離子平面拋光和離子切割一體化技術(shù),一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)兩種模式,無需復(fù)雜的切換流程,簡潔方便;
2、動態(tài)離子切割技術(shù),實(shí)現(xiàn)樣品的往復(fù)平移和旋轉(zhuǎn),最大切割長度達(dá)10mm,有效減少投影/遮擋效應(yīng); 3、超大的平面拋光尺寸25×25mm(直徑×高),為原位實(shí)驗(yàn)等大尺寸樣品提供可能; 4、能量 0.5-10kv 連續(xù)可調(diào),既可滿足低能區(qū)減少非晶層,又可兼顧高能區(qū)大幅提高制樣效率。
氬離子拋光檢測實(shí)例
無機(jī)孔SEM圖像
有機(jī)孔SEM圖像
用于頁巖樣品制樣,離子平面拋光后的頁巖截面揭示樣品表面納米級孔隙。
2.半導(dǎo)體領(lǐng)域
離子切割后的手機(jī)柔性屏幕內(nèi)部結(jié)構(gòu)和材料特征SEM圖
3.能源電池材料領(lǐng)域
離子切割后的電池材料截面揭示其內(nèi)部結(jié)構(gòu)SEM圖
使用CP切割+掃描電鏡來研究電極粉末材料、電池循環(huán)后的極片、隔膜材料、電池(薄膜電池或固態(tài)電池)截面的微觀結(jié)構(gòu)和元素組成等,對于了解電池及其材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)、反應(yīng)機(jī)理、失效機(jī)制等具有重大意義。
4.新材料領(lǐng)域
推薦產(chǎn)品:
ArNanoFab 100 氬離子拋光機(jī)具有高效性、可靠性,能夠在短時間內(nèi)完成高強(qiáng)度、高硬度材料的拋光,并且可以精確控制拋光過程,保證拋光效果的穩(wěn)定性和一致性。